SS-20E6 S系列 GEKO高纯度半导体气体阀门和接头 专为对半导体制造工艺有要求的工艺而设计。 超洁净 性能卓越，流量控制精准。采用不锈钢和氟聚合物等耐腐蚀材料制成。 GEKO阀门具有卓越的可靠性、无泄漏密封性和与特种气体的优异兼容性。是晶圆制造、蚀刻、CVD和其他关键洁净室应用的理想之选。
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