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SS-20E6 S系列 GEKO高纯度半导体气体阀门和接头 专为对半导体制造工艺有要求的工艺而设计。 超洁净 性能卓越，流量控制精准。采用不锈钢和氟聚合物等耐腐蚀材料制成。
GEKO阀门具有卓越的可靠性、无泄漏密封性和与特种气体的优异兼容性。是晶圆制造、蚀刻、CVD和其他关键洁净室应用的理想之选。
高纯度气体配件
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尺寸范围 NPS 1/8" - 1" | 身体材料 316不锈钢、316L不锈钢、316L VAR、316L VIM/VAR、合金 |
温度范围 -99°F 至 1000°F（-73°C 至 538°C） | 茎材料 316不锈钢、316L不锈钢、316L VAR、316L VIM/VAR、合金 |
最大允许工作压力 6000 psi WOG (414 bar) | 座椅材料 聚四氟乙烯、聚醚醚酮或金属座 |
关闭额定值 气密性极佳，零泄漏（API 598 测试） | 光盘材料 316/316L不锈钢，合金C |
车身样式 一体式、两件式或三件式结构 | 设计标准 ASME B16.34、EN12516、GB/T 12237 |
末端连接 NPT内螺纹/外螺纹、承插焊、对接焊、法兰连接（ANSI B16.5） | 测试标准 100% 出厂压力及泄漏测试，符合 API 598 标准 |
港口 双向直通、三向T/L型、角流 | 连接平台 ISO5211 执行器安装垫 |
面对面 ASME B16.10、EN 588-1 F4/F5、DIN 3202 F4/F5、JIS B2002
| 应用程序 低压和高压仪表、过程控制、气体和液体管线 |
半导体、燃气阀门和配件
半导体气体阀门和配件
产品尺寸从 1/8 英寸到 1 英寸，工作压力范围从真空到 6000 psi
温度范围从-99°F到1000°F。
可选材料包括 316 不锈钢、316L 不锈钢、316L VAR 不锈钢、
316L VIM/VAR 和合金。
GEKO半导体燃气阀门和配件的独特设计
GEKO仪表阀有多种配置可供选择，
适用于低压和高压环境，并能实现精确控制。
分析、仪器仪表和科学应用中的流量控制。
在需要精确流量的应用中，可以对其进行精细调节。
和 流量系数范围为0.004至0.16有各种各样的把手
可用于测量阀门的多种方案，可实现可重复的流量控制
可通过调节、增强流量设定控制或使用螺丝刀进行流量设定来调节流量。
低压应用中的调节。
GEKO仪表阀应用于多个行业。
水和废水处理
船舶与海洋工程
环境保护和工业水处理
SS-20E6 S系列 GEKO高纯度半导体气体阀门和接头 专为对半导体制造工艺有要求的工艺而设计。 超洁净 性能卓越，流量控制精准。采用不锈钢和氟聚合物等耐腐蚀材料制成。 GEKO阀门具有卓越的可靠性、无泄漏密封性和与特种气体的优异兼容性。是晶圆制造、蚀刻、CVD和其他关键洁净室应用的理想之选。
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: info@geko-union.com
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